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| Offner成像光谱仪的消像差技术 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 3001-3011
作者: 赵美红 ; 李文昊; 巴音贺希格; 吕强
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Offner成像系统 成像光谱仪 像差校正 凸面全息光栅 |
| 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 3616-3620
作者: 赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 吴娜; 张桐
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罗兰光栅 像散校正 光栅设计 |
| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 39-50
作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
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位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
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光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
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激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77
作者: 赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 杨硕
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光栅 消像差凹面全息 一体化设计 光栅设计 球面聚焦反射镜 光程函数 |
| 在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 3, 页码: 857-863
作者: 姜岩秀; 巴音贺希格; 杨硕; 赵旭龙; 吴娜; 李文昊
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平面变栅距全息光栅 分辨率 刻线密度误差 聚焦曲线 谱像宽度 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
caj(310Kb) | 收藏 | 浏览/下载：276/73 | 提交时间：2018/04/09
测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
caj(447Kb) | 收藏 | 浏览/下载：323/92 | 提交时间：2015/04/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
| 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229
作者: 何天博; 巴音贺希格; 张善文; 李文昊; 唐玉国
caj(658Kb) | 收藏 | 浏览/下载：300/97 | 提交时间：2015/04/17
光栅 体全息光栅 衍射特性 混合调制 衰减光栅 |
