已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| Offner成像光谱仪的消像差技术 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 3001-3011 作者: 赵美红; 李文昊; 巴音贺希格; 吕强 caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:488/126  |  提交时间:2018/04/09 Offner成像系统 成像光谱仪 像差校正 凸面全息光栅 |
| 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计 期刊论文 光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 3616-3620 作者: 赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 吴娜; 张桐 caj(1328Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:436/143  |  提交时间:2018/04/09 罗兰光栅 像散校正 光栅设计 |
| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 39-50 作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮 caj(407Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:385/104  |  提交时间:2018/04/09 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊 caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/100  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141 作者: 刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格 caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:330/90  |  提交时间:2017/09/17 激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测 |
| 光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77 作者: 赵旭龙; 巴音贺希格; 李文昊; 姜岩秀; 杨硕 caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/165  |  提交时间:2017/09/17 光栅 消像差凹面全息 一体化设计 光栅设计 球面聚焦反射镜 光程函数 |
| 在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿 期刊论文 光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 3, 页码: 857-863 作者: 姜岩秀; 巴音贺希格; 杨硕; 赵旭龙; 吴娜; 李文昊 caj(386Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:384/125  |  提交时间:2017/09/17 平面变栅距全息光栅 分辨率 刻线密度误差 聚焦曲线 谱像宽度 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强 caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:276/73  |  提交时间:2018/04/09 测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠 caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/92  |  提交时间:2015/04/17 光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
| 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229 作者: 何天博; 巴音贺希格; 张善文; 李文昊; 唐玉国 caj(658Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:300/97  |  提交时间:2015/04/17 光栅 体全息光栅 衍射特性 混合调制 衰减光栅 |