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高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  沈晨
caj(7770Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：181/0  |  提交时间：2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC