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极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析 期刊论文
发光学报, 2015, 期号: 09, 页码: 1094-1099
作者:  李文昊;  姜岩秀;  吴娜;  张桐;  王鹍
caj(1565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/88  |  提交时间：2016/07/06
变栅距光栅  球面波  刻槽密度  光谱分辨能力  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：212/87  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 241-247
作者:  姜岩秀;  韩建;  李文昊;  巴音贺希格
caj(177Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：189/61  |  提交时间：2016/07/06
分光光栅  棱镜  空间相位差  曝光系统  稳定性  
极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 45-55
作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  杨硕;  赵旭龙;  李文昊;  吴娜
caj(1349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/102  |  提交时间：2016/07/06
光栅  变栅距全息光栅  刻线密度  改进的局部结合优化算法  分辨率