中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/100  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77
作者:  赵旭龙;  巴音贺希格;  李文昊;  姜岩秀;  杨硕
caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/165  |  提交时间：2017/09/17
光栅  消像差凹面全息  一体化设计  光栅设计  球面聚焦反射镜  光程函数  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：212/87  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 45-55
作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  杨硕;  赵旭龙;  李文昊;  吴娜
caj(1349Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/102  |  提交时间：2016/07/06
光栅  变栅距全息光栅  刻线密度  改进的局部结合优化算法  分辨率  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/92  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 24-30
作者:  孔鹏;  唐玉国;  巴音贺希格;  齐向东;  李文昊;  崔锦江
caj(633Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：403/126  |  提交时间：2014/03/07
光谱学  光谱仪  衍射光栅  平场  宽光谱  分辨率  通光效率  
全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 07, 页码: 58-65
作者:  韩建;  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
caj(1971Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/82  |  提交时间：2013/03/11
衍射  叠栅条纹  光栅波像差  相对离焦  
全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 03, 页码: 9-15
作者:  韩建;  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
caj(589Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：577/159  |  提交时间：2013/03/11
光栅  曝光量  条纹对比度  占宽比  槽深  
小型宽波段凹面全息光栅单色仪的优化设计 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 02, 页码: 255-261
作者:  曾瑾;  巴音贺希格;  李文昊
caj(696Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/60  |  提交时间：2013/03/11
光栅  凹面全息光栅  单色仪  消像差  
平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 10, 页码: 1005003-1
作者:  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
Adobe PDF(542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/91  |  提交时间：2012/05/11