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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者:  糜小涛;  于宏柱;  高键翔;  于海利;  张善文;  齐向东
caj(515Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/92  |  提交时间：2016/07/06
微定位系统  控制器设计  数学模型  定位精度