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| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
 caj(373Kb) |  收藏 | 浏览/下载：400/118 | 提交时间：2018/04/09
全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
 caj(4189Kb) | 收藏 | 浏览/下载：370/134 | 提交时间：2018/04/09
光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
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测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
caj(1764Kb) | 收藏 | 浏览/下载：268/96 | 提交时间：2017/09/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb) | 收藏 | 浏览/下载：308/130 | 提交时间：2016/07/06
光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229
作者: 何天博; 巴音贺希格; 张善文; 李文昊; 唐玉国
caj(658Kb) | 收藏 | 浏览/下载：300/97 | 提交时间：2015/04/17
光栅 体全息光栅 衍射特性 混合调制 衰减光栅 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
caj(724Kb) | 收藏 | 浏览/下载：352/102 | 提交时间：2015/04/17
光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
| 非均匀膨胀与收缩下反射体全息光栅衍射特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 2, 页码: 141-148
作者: 何天博; 巴音贺希格; 齐向东; 李文昊; 唐玉国
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光栅 反射体全息光栅 衍射特性 非均匀膨胀或收缩 膨胀因子 角度和波长选择性 |
| 机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
作者: 李晓天; 巴音贺希格; 齐向东; 于海利; 唐玉国
caj(1210Kb) | 收藏 | 浏览/下载：421/115 | 提交时间：2014/03/07
光栅 平面光栅 光栅刻线弯曲 光栅刻线位置误差 衍射波前 光栅指标 |
| 宽波段全息罗兰光栅的优化 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 0409003-1
作者: 巴音贺希格; 李文昊; 唐玉国
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