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真空自励研磨抛光工艺的研究 期刊论文
光学精密工程, 2001, 期号: 03, 页码: 238-241
作者:  张忠玉;  王权陡;  周军;  周德俭
caj(73Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/79  |  提交时间：2013/03/11
真空自励抛光盘  超薄镜  抛光  数字控制