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Design rule and orientation layout for MEMS curved beams on silicon 期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems, 2010, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 706-714
作者:  Chen T.M.;  Liu Z.;  Korvink J. G.;  Wallrabe U.
Adobe PDF(1177Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：511/94  |  提交时间：2012/10/21