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一种非球面变焦距光刻物镜系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279812.5, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  刘伟奇;  吕博;  冯睿;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  姜珊
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反射式红外偏振参量测量装置 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2151455, 申请日期: 1993-12-29, 公开日期: 1993-12-29
发明人:  齐钰;  戈兵;  郑琪;  初国强;  钱龙生;  冯继蒙
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