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Novel nano-scale absolute linear displacement measurement based on grating projection imaging 期刊论文
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation, 2021, 卷号: 182
作者:  H. Yu;  Q. Wan;  Z. Mu;  Y. Du and L. Liang
浏览  |  Adobe PDF(2865Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：116/56  |  提交时间：2022/06/13