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Improved metal assisted chemical etching method for uniform, vertical and deep silicon structure 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 卷号: 27, 期号: 5
作者:  Miao, B.;  J. Zhang;  X. Z. Ding;  D. M. Wu;  Y. H. Wu;  W. H. Lu and J. D. Li
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