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高频率皮秒激光微加工石英衬底铝膜效率 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3238-3243
作者:  金方圆;  陈波;  鄂书林;  王海峰;  邢妍
caj(897Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/110  |  提交时间：2016/07/06
激光微加工  皮秒激光  石英衬底铝膜  烧蚀效率