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反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者:  谭鑫
caj(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：209/59  |  提交时间：2016/07/06
衍射效率  反应离子束刻蚀  粗糙度  罗兰光栅