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大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
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光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天;  唐玉国
caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/124  |  提交时间：2016/07/06
光栅  刻划光栅  光栅波前  刻线位置误差  转角误差  压电驱动器