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Improving the adhesion of hydrogen silsesquioxane (HSQ) onto various substrates for electron-beam lithography by surface chemical modification 期刊论文
Microelectronic Engineering, 2014, 期号: 128, 页码: 59-65
作者:  Zhang Z. Q.;  Duan H. G.;  Wu Y. H.;  Zhou W. P.;  Liu C.;  Tang Y. G.;  Li H. W.
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