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Effect of the oxygen flow on the properties of ITO thin films deposited by ion beam assisted deposition (IBAD) 期刊论文
Thin Solid Films, 2008, 卷号: 516, 期号: 16, 页码: 5454-5459
作者:  Meng L. J.;  Gao J. S.;  Silva R. A.;  Song S. G.
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