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Deepening of nanograting structures on Si by a two-step laser spatial-selective amorphization strategy combined with chemical etching 期刊论文
Applied Surface Science, 2022, 卷号: 589, 页码: 10
作者:  X. Y. Li;  R. Y. Li;  Z. Yu;  J. Xing;  W. C. Kong;  Y. Wang and J. J. Yang
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