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Moire alignment algorithm for an aberration-corrected holographic grating exposure system and error analysis 期刊论文
Applied Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 31
作者:  Zhao, X. L.;  Bayanheshig;  W. H. Li;  Y. X. Jiang;  Y. Song;  X. T. Li;  S. Jiang and N. Wu
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