中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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2017 [2]

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	Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement 期刊论文 Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 2 作者: Yang, J.; R. Zhang; L. Yin; C. Sun and T. J. Li 浏览 \| Adobe PDF(1770Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：270/77 \| 提交时间：2018/06/13
	Small-size, high-resolution angular displacement measurement technology based on an imaging detector 期刊论文 Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 3 作者: Yu, H.; Q. H. Wan; X. R. Lu; Y. C. Du and S. W. Yang 浏览 \| Adobe PDF(845Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：324/126 \| 提交时间：2018/06/13

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