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先进技术微通道板 （ＡＴ－ＭＣＰ） 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1996, 期号: 03, 页码: 26-29
作者:  姜德龙;  富丽晨;  李野;  卢耀华;  田景全;  王桂芬;  孟素英
caj(144Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：531/100  |  提交时间：2013/03/11
先进技术  微通道板  离子刻蚀  化学气相沉积