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薄膜反射镜的成形控制 期刊论文
光学精密工程, 2009, 期号: 4
作者:  石广丰;  金光;  刘春雨;  张鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/62  |  提交时间：2012/09/25
静电拉伸  薄膜反射镜  分布式电极  控制矩阵  最小二乘法