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移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:  宋莹;  赵旭龙;  姜岩秀;  巴音贺希格;  齐向东
caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/121  |  提交时间：2018/04/09
全息  全息光栅  干涉条纹锁定  分束光栅  叠栅条纹  
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/138  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计