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磁悬浮轴承式超精密微进给机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2004-09-29, 公开日期: 2004-09-29
发明人:  宋文荣;  何惠阳;  于国飞;  王延风;  查明
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