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用衍射仪测量等周期多层膜膜厚随机变化量的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2007-08-08, 公开日期: 2007-08-08
发明人:  杨雄;  姚志华;  张立超;  金卫华;  金春水
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