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像旋补偿系统快速微调机构的结构研究 期刊论文
光子学报, 2016, 期号: 6, 页码: 61-67
作者:  鄢永耀;  刘伟;  付锦江;  袁婷
caj(497Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/98  |  提交时间：2017/09/17
机械设计  像旋补偿  结构分析  柔性铰链  快速微调  数学模型  刚度  
基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 05, 页码: 511-515
作者:  林旭东;  刘欣悦;  王建立;  卫沛锋;  王富国
caj(358Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/82  |  提交时间：2013/03/11
自适应光学  变形镜  展平标定  干涉仪  
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 期刊论文
光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加;  慎微;  杜涌兴
caj(247Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/82  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  近贴式  光刻胶  光刻术