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微机械中新型压电微电机致动机理分析 期刊论文
上海交通大学学报, 1999, 期号: 04, 页码: 98-101
作者:  马建旭;  贾志;  杨保忠;  马培荪
caj(103Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/73  |  提交时间：2013/03/11
微机械  压电微电机  致动机理