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压电驱动微位移工作台动态特性分析 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 440-443
作者:  贾宏光;  吴一辉;  于振雷;  王立鼎
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：479/53  |  提交时间：2013/03/12
压电陶瓷  微位移工作台  动态特性分析