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小波变换实现的光电编码器精确实时测速 期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 137-142
作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  杨守旺
caj(898Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:318/104  |  提交时间:2018/04/09
小波变换  测速  编码器  检测  
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:  宋莹;  赵旭龙;  姜岩秀;  巴音贺希格;  齐向东
caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:402/118  |  提交时间:2018/04/09
全息  全息光栅  干涉条纹锁定  分束光栅  叠栅条纹  
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:372/135  |  提交时间:2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/100  |  提交时间:2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
光学元件表面缺陷对高斯光束的调制作用研究 期刊论文
, 2016
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹
收藏  |  浏览/下载:196/0  |  提交时间:2017/09/17
高斯光束  振幅调制  相位调制  角谱  
基于线阵图像传感器的高分辨力单圈绝对式编码方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 111-117
作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  于海
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:279/95  |  提交时间:2017/09/17
测量  高分辨力  编码方式  图像识别  码盘  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/91  |  提交时间:2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者:  宋莹
caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:245/63  |  提交时间:2017/09/17
光栅  光栅曝光  数值计算  条纹相位变化  曝光对比度  掩模槽形  
光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 109-115
作者:  张宁;  沈湘衡;  叶露;  宋莹
caj(1597Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:337/96  |  提交时间:2017/09/17
成像系统  光电测量设备  高频频谱  调制传递函数  低通滤波器  主观评价  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:277/73  |  提交时间:2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪