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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/100  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
基于线阵图像传感器的高分辨力单圈绝对式编码方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 111-117
作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  于海
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/94  |  提交时间：2017/09/17
测量  高分辨力  编码方式  图像识别  码盘  
光电测量设备图像高频频谱对主观评价的影响 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 109-115
作者:  张宁;  沈湘衡;  叶露;  宋莹
caj(1597Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/96  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  光电测量设备  高频频谱  调制传递函数  低通滤波器  主观评价  
基于快速图像识别的单圈绝对式编码器译码方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11
作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  于海
收藏  |  浏览/下载：213/0  |  提交时间：2017/09/17
高分辨力  编码方式  图像识别  码盘  
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：208/83  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/92  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
基于坐标旋转数字计算算法的小型光电编码器细分 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 2, 页码: 34-39
作者:  冯英翘;  万秋华;  宋超;  孙莹;  赵长海
caj(311Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/94  |  提交时间：2015/04/17
光栅  光电编码器  细分误差  坐标旋转数字计算算法  精度  
手持式眼底相机光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 240-246
作者:  李灿;  宋淑梅;  李淳;  刘英;  孙强
caj(2226Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：582/177  |  提交时间：2013/03/11
光学设计  眼底相机  调焦镜  网膜物镜  调焦投影系统光路