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波长可调谐克尔锁模外腔面发射激光器 期刊论文
中国激光, 2022, 卷号: 49, 期号: 21, 页码: 68-74
作者:  曾盈莹;  沈晓红;  毛琳;  王涛;  朱仁江;  罗海军;  佟存柱;  汪丽杰;  宋晏蓉;  张鹏
Adobe PDF(1801Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：89/42  |  提交时间：2023/05/18
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:  宋莹;  赵旭龙;  姜岩秀;  巴音贺希格;  齐向东
caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/118  |  提交时间：2018/04/09
全息  全息光栅  干涉条纹锁定  分束光栅  叠栅条纹  
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/133  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/73  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：267/96  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差