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光栅线位移传感器 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210090820.5, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  张吉鹏;  黄剑波;  孙强;  孟辉;  吴宏圣;  曾琪峰;  赵建
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一种光栅尺尺壳角度扭曲的自动检测方法及校扭装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张吉鹏;  谭向全;  孙强;  孟辉;  王健;  吴宏圣;  曾琪峰
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光栅线位移传感器 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张吉鹏;  黄剑波;  孙强;  孟辉;  吴宏圣;  曾琪峰;  赵建
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一种采用均匀进气系统的原子层沉积装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  单崇新;  申赫;  于吉;  刘兴宇;  王双鹏;  李炳辉;  申德振
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