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提高反应烧结碳化硅反射镜光学性能的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 235-240
作者:  王彤彤
caj(1176Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/108  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  反应烧结碳化硅  表面改性  总积分散射  等离子辅助沉积