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Optimized Selective-Area p-Type Diffusion for the Back-Illuminated Planar InGaAs/InP Avalanche Photodiodes by a Single Diffusion Process 期刊论文
Physica Status Solidi a-Applications and Materials Science, 2022, 卷号: 219, 期号: 2, 页码: 6
作者:  Y. R. Chen;  Z. W. Zhang;  G. Q. Miao;  H. Jiang and H. Song
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