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A general method of designing phase-shifting algorithms for grating lateral shearing interferometry 期刊论文
Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering, 2018, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 809-814
作者:  Fang, C.;  Xiang, Y.;  Qi, K. Q.
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Interferometry  Phase measurement  Phase-shifting algorithms  point-diffraction interferometer  wave-front reconstruction  hartmann-shack sensor  spatial-resolution  metrology  optics  euva  Computer Science  Engineering  
Two-step algorithm for removing the rotationally asymmetric systemic errors on grating lateral shearing interferometer 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 14267-14277
作者:  Zhang, L.;  Qi, K. Q.;  Xiang, Y.
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spherical surfaces  absolute  deviation  metrology  flat  maps  Optics  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts