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灵巧型长焦多波段共口径光学系统的研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  邢振冲
caj(8176Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：144/0  |  提交时间：2019/09/23
多波段共口径  光学设计  杂散光分析  光学装调  调制传递函数  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/106  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
非等光强正交圆偏振光对液晶偏振光栅衍射特性的影响 期刊论文
液晶与显示, 2018, 期号: 02, 页码: 144-149
作者:  刘春杰;  彭增辉;  李松振;  王启东;  刘永刚
收藏  |  浏览/下载：184/0  |  提交时间：2019/09/17
液晶  光栅  琼斯矩阵  光控取向  
投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  周泽龙
caj(5354Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：205/0  |  提交时间：2019/09/23
投影光刻物镜  偏振像差  琼斯矩阵  穆勒矩阵