中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5 作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi 浏览 \| Adobe PDF(528Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：313/94 \| 提交时间：2018/06/13
	Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig 浏览 \| Adobe PDF(4373Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：273/82 \| 提交时间：2018/06/13

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