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现代军用MEMS惯性传感器技术进展 期刊论文
传感器与微系统, 2014, 期号: 8, 页码: 42101
作者:  李红光
caj(193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/155  |  提交时间：2015/04/17
微电子机械系统  惯性传感器  Mems陀螺  Mems加速计  Mems惯性测量仪  小型惯性测量仪  集成光波导陀螺