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电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者:  张旭;  赖磊捷;  李朋志;  朱利民
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