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极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  鹿国庆
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　LED集成阵列芯片理论及关键工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  包兴臻
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Led阵列  隔离槽  出光效率  Mems技术  
柔性LED阵列器件的结构设计及制备研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  高丹
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微型柔性led阵列  Algainp  聚酰亚胺  Moems技术  隔离沟槽  
CD-like微流控芯片关键器件和集成化技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  刘永顺
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Cd-like微流控芯片  热压  激光加工  微混合器  表面改性