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一种非球面变焦距光刻物镜系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210279812.5, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20
发明人:  刘伟奇;  吕博;  冯睿;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  姜珊
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适于哈特曼波前传感器的折/衍混合变焦距光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2007-02-14, 公开日期: 2007-02-14
发明人:  孙强;  卢振武
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一种高精度变焦距装置 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2280296, 申请日期: 1998-04-29, 公开日期: 1998-04-29
发明人:  乔彦峰;  唐杰
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