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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/106  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems