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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
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Beam homogenized shaping and speckle suppression in laser projection display system using liquid crystal on silicon 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Liang, C.;  W. Zhang;  D. Rui;  Y. Sui and H. Yang
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Optical design and stray light analysis for ultraviolet board width off-axis four mirrors optical system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 2
作者:  Zhu, Y.;  X. Zhang;  Y. Wu;  J. Zhang;  G. Shi and L. Wang
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