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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
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衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
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| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
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| Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者: Liu, Z.-W.; W.-H. Li; J.-K. Wang; S. Jiang; Y. Song; M.-Z. Pan and Bayanheshig
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| Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者: Lu, Y.; X. Qi; H. Yu; X. Li; S. Zhang; S. Jiang and L. Yin
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| Development and error compensation of the high precision turntable 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 5
作者: Yao, X.; C. Sun; J. Yang; L. Yin and H. Zhao
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| 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 李涛涛
 Adobe PDF(2663Kb) | 收藏 | 浏览/下载：374/4 | 提交时间：2016/04/11
空间外差光谱技术 宽波段 傅里叶变换 干涉 光栅色散 |
| 大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 孙梦至
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中阶梯光栅 高质量铝膜 大面积均匀性 多步沉积 |
| 大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 09, 页码: 2057-2067
作者: 何煦; 成贤锴
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中阶梯光栅 衍射效率 测试仪器 设计与标校 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
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光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
