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机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:  张宝庆;  张绍泽;  曹聪;  高劲松
浏览  |  Adobe PDF(1587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：117/40  |  提交时间：2021/07/06
机刻光栅  复合基底  残余应力  薄膜  压痕  模拟