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| 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 李涛涛
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空间外差光谱技术 宽波段 傅里叶变换 干涉 光栅色散 |
| 大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 孙梦至
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中阶梯光栅 高质量铝膜 大面积均匀性 多步沉积 |
| 大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 09, 页码: 2057-2067
作者: 何煦; 成贤锴
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中阶梯光栅 衍射效率 测试仪器 设计与标校 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
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光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者: 糜小涛; 于宏柱; 于海利; 姚雪峰; 宋楠; 冯树龙; 齐向东
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光栅刻划机 衍射光纤 双拉杆结构 单拉杆结构 石英导轨 |
| 精确可调单簧片式施压机构在摩擦驱动中的应用 期刊论文
机械设计与研究, 2015, 期号: 01, 页码: 1-4
作者: 陈琦
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等应力簧片 簧片刚度 偏心轮 摩擦驱动 |
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者: 糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东
caj(515Kb) | 收藏 | 浏览/下载：305/92 | 提交时间：2016/07/06
微定位系统 控制器设计 数学模型 定位精度 |
| 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者: 杨超; 于海利; 张善文; 于宏柱; 李晓天; 唐玉国
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光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器 |
| Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者: Yang, C.; H. Yu; S. Zhang; H. Yu; X. Li and Y. Tang
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| Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者: Song, N.; S. Feng; H. Yu; X. Qi; Bayanheshig and Y. Tang
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