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| 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者: 张成山; 孟庆孔
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光电式光栅刻划机 衍射光栅干涉仪 莫尔条纹 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
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全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 光栅刻划系统等速凸轮机构设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 511-515
作者: 宋楠
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等速凸轮 光栅刻划 振动 |
| 光栅刻划机工作台导轨结构形式选择及试验 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 506-510
作者: 冯树龙
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光栅刻划机 滚柱导轨 爬行 |
| 光栅刻划机导向导轨支撑结构刚度优化设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 5, 页码: 495-499
作者: 姚雪峰; 糜小涛; 宋楠
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光栅刻划机 刚度 有限元分析 模态 |
| 超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 焦庆斌
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| 莫尔条纹光电信号自动补偿技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 高旭
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| 亚波长介质光栅设计简化模式法的修正及相关研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王斌
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| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
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光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
| 光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者: 申远; 王俊杰; 竺长安; 齐向东
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光栅刻划机 光机电集成优化 计算傅里叶光学 智能优化 |
