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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:119/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206 作者: 苏东奇; 苗二龙; 曲艺; 隋永新 caj(3041Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/96  |  提交时间:2016/07/06 测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 |
| 非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 05, 页码: 242-248 作者: 陈新东; 李锐刚 caj(1254Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:279/86  |  提交时间:2016/07/06 光学制造 非球面检测 几何参数测量 激光跟踪仪 |
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测(英文) 期刊论文 光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99 作者: 苏东奇; 田伟; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江 caj(941Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:211/65  |  提交时间:2016/07/06 光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303 作者: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li 浏览  |  Adobe PDF(1605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:251/67  |  提交时间:2016/08/24 |
| Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12 作者: Su, D.; E. Miao; Y. Qu and Y. Sui 浏览  |  Adobe PDF(3156Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:322/88  |  提交时间:2016/08/24 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊 Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:278/2  |  提交时间:2016/04/11 菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 李乐 Adobe PDF(3433Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:314/1  |  提交时间:2015/05/03 非球面检测 补偿镜 迭代 公差分配 折射率均匀性 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 张艳微 Adobe PDF(1884Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/2  |  提交时间:2015/05/03 干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 基于有限元法的面形反演模型 期刊论文 光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78 作者: 刘永明; 谢军; 田伟; 隋永新; 刘震宇 caj(408Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:311/80  |  提交时间:2015/04/17 绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 Zernike多项式 |