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一维压电式微定位机构的设计研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 3
作者:  孙宝玉;  刘虹;  梁淑卿
caj(89Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/78  |  提交时间：2012/09/25
微定位机构  压电陶瓷  柔性铰链  数字闭环控制