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自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2117-2124
作者:  姜岩秀;  巴音贺希格;  赵旭龙;  杨硕;  吴娜
caj(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:243/99  |  提交时间:2016/07/06
自由电子激光器  平面变栅距光栅  全息曝光  刻线密度误差  分辨能力