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光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者:  杨超;  于海利;  张善文;  于宏柱;  李晓天;  唐玉国
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光栅  刻划光栅  光栅波前  刻线位置误差  转角误差  压电驱动器  
Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者:  Yang, C.;  H. Yu;  S. Zhang;  H. Yu;  X. Li and Y. Tang
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